日本小金井 除静电离子棒 KOGANEI 型号：DTY-BA11-350

苏州上野公司主营日本机械，联 系人  张涛 手机188-9698-4864，微信18896984864。

苏州上野机电设备有限公司是一家专业的日本机械设备及零部件提供商。全心致力于中国工控产品销售和技术服务，吸取国外最高端、

最精密、最尖端的先进工控产品和技术，以优质的品牌为基础，成熟的渠道，多元化的经营模式为中国的工业自动化高速发展作出努

力和贡献。作为机械零部件与系统的供应商，多年以来，我司始终站在时代的最前列，不断地将最先进的技术与用户的需求有机地结

合在一起。为了促进21世纪科技发展造福人类，作为以诚信为本的专业企业，我司将充分发挥所拥有的知识、专有技术，渠道以及人

脉，和大家共同发展，共创辉煌。

日本小金井株式会社成立于1934年2月7日，本社所在地位于〒184-8533 东京都小金井市绿町3-11-28，主营机床、工业工具、润滑

系统、气动和液压系统产品、静电应用设备、电动设备、流体控制设备、环境设备、医疗设备、医疗器械、化工产品及配件制造的制

造、销售、租赁和租赁，现有员工人数是600人（整个团体1,200人）。

棒式除静电器DTY-BA11系列产品特征：●棒式除静电器新系列登场！实现除静电性能提升，更小型化。●小流量型喷头，硅放电针等

新品种。●宽度从350mm到3100mm，宽幅对应。棒式除静电器：不被带电体的状况左右，可以一直安定的除电。一体的构造使得不

需要另外用控制器。

使用用途：可以用于半导体湿制程设备等等。湿制半导体设备主要用于半导体制造过程中的清洗和刻蚀工艺。以下是一些相关设备和

应用：清洗设备：用于在刻蚀、离子注入等工艺后进行清洗，确保晶圆表面无污染。湿法刻蚀机：广泛应用于先进集成电路制造，能

够根据不同应用配备常温或高温化学药液。 去光阻机：用于去除光刻胶，确保后续工艺的顺利进行。 槽式湿法设备：包括槽式湿法刻

蚀清洗机和去胶机，适用于多种半导体工艺。 这些设备在晶圆制造、MEMS制造和功率器件制造等领域都有广泛应用。

半导体湿制程设备是半导体制造过程中使用化学溶液处理晶圆的关键设备，主要用于湿式蚀刻、化学清洗等工艺环节。随着半导体工艺

的不断进步和先进封装需求的增长，湿制程设备在芯片制造中的重要性日益凸显。以下是对半导体湿制程设备的全面介绍：

湿制程设备概述；半导体湿制程(Semiconductor wet processing)是指使用化学溶液处理半导体材料的工艺过程，主要包括湿式蚀刻

和化学清洗两大功能。湿式蚀刻：利用化学溶液选择性去除晶圆表面特定区域材料，具有制程简单、成本低、蚀刻选择比高和产量速度

快等优点。化学清洗：用于去除晶圆上的微粒子、金属不纯物、有机物、表面微粗糙度和自然生成氧化层等五类污染源，是半导体制造

的关键步骤。应用领域：集成电路制造：前道(FEOL)和后道(BEOL)工艺中的清洗和蚀刻，先进封装：如CoWoS封装中的研磨洗净过程，

MEMS制造：形成复杂三维结构，光电子器件：光学元件和波导结构的加工，化合物半导体：碳化硅、氮化镓等宽禁带半导体材料的处

理。

主要湿制程设备类型

1. 清洗设备

石英炉管/石英舟清洗机：采用人工上下料或机械手自动转移方式，对2-12英寸石英炉管进行酸液浸泡、水槽喷洗等处理35

兆声波清洗机：自动化程度高，由水平通过式腐蚀清洗主体、移动机械传送装置等组成35

片盒清洗机：通过化学液体浸泡、冲洗、漂洗等方式清洗片盒35

RCA清洗设备：采用标准RCA清洗工艺去除晶圆表面污染物29

2. 蚀刻设备

SPM腐蚀机：手动搬运方式，对硅片进行腐蚀、漂洗等处理35

碱腐蚀机：用于硅、二氧化硅、氮化硅等材料的刻蚀35

金属蚀刻设备：用于钛、镍、银、金、铝、钨、铜等金属的蚀刻6

双面湿法刻蚀装置：如苏州冠礼科技的新型设备，可同时处理晶圆双面，提高效率78

3. 辅助系统

自动供酸系统(CDS)：集中配送腐蚀液，具有自动化程度高、配比精确等特点35

化学品供应回收系统：管理工艺化学品的供应和回收10

干燥设备：如Marangoni干燥系统

苏州上野公司张涛批发销售的型号：

日本KOGANEI 小金井 负离子棒 型号：DTY-BA11-350

产品参数：5 个排放针喷嘴，附带 0 个中间支架 ，长度 （mm）350 ，喷嘴标准流量， 材料（排放针）钨。

静电消除单元离子发生器DTY-BA11系列：除电时间和大小均比传统产品提高约30%，实现长期稳定除电性能和无需长期清洁。

KOGANEI Ionizer Bar Type BA11 Series日本 KOGANEI 小金井离子棒型号：　DTY-BA11-350-SS

日本 KOGANEI 小金井离子棒型号：DTY-BA11-1350

日本 KOGANEI 小金井离子棒型号：DTY-BA11-1600

日本 KOGANEI 小金井离子棒型号：DTY-BA11-1850

州上野公司张涛批发销售的型号：

日本 KOGANEI 小金井离子棒型号：DTY-BA11-2100

日本 KOGANEI 小金井离子棒型号：DTY-BA11-2350

日本 KOGANEI 小金井离子棒型号：DTY-BA11-2600

日本 KOGANEI 小金井离子棒型号：DTY-BA11-2350

日本 KOGANEI 小金井离子棒型号：DTY-BA11-2850 

日本 KOGANEI 小金井离子棒型号：DTY-BA11-3100

日本 KOGANEI 小金井产品型号：ORCAF25*750-L

日本 KOGANEI 小金井产品型号：DV32*25-1-ZG530B2

日本 KOGANEI 小金井产品型号：SGDAP40-50ZE135B2

日本KOGANEI 小金井  棒式除靜電器 型号：DTY-BA11-2850

日本 KOGANEI 小金井离子棒型号：DTY-BA11-350

日本 KOGANEI 小金井离子棒型号：DTY-BA11-600

日本 KOGANEI 小金井离子棒型号：DTY-BA11-1100